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高精度四极质谱检测限测试和影响因素分析

更新时间:2019-12-31

【摘要】高精度四极质谱仪(QMS)的气体分压精确测量功能与其使用方法关系密切.采用包含有四极质谱仪、真空 系统和进样系统的质谱参数测试装置,针对工作及系统参数对质谱测试结果的影响开展研究.试验结果表明:无论 是扫描速率、质量数分辨率、电压和探测器等质谱工作参数,还是真空本底、丁作真空和气体种类等系统参数都会 对质谱测试结果尤其检测限产生一定影响.试验获得了特定条件下的最优参数并进行比较.采用获得的最优参数 组合,通过测量空气中极低含量稀有氪气和氙气的同位素谱图.可获得一定条件下法拉第杯(FC)、二次电子倍增 器(SEM)和离子计数器(CP)等3种探测器的最小可检浓度,分别为17.3xl0-9、0.34xl0-9和0.15xlO-9.其中SEM 和CP的检测限最低,适合用于微量气体分析.

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